满冠体育的Nano Attractive Mushi™是一种选择性吸附剂，其主要成分是纤维素衍生物，对氮化硅薄膜具有极强的亲和力。关键的纤维素衍生物是以天然纤维素为原料，采用满冠体育的合成技术定制的原始纤维素。特异性吸附于氮化硅薄膜表面，形成纤维素薄膜（选择性吸附效应）。

对氮化硅膜的特异性吸附意味着在使用各种绝缘膜和金属膜（例如氧化硅膜、氮化硅膜和氮化钛膜）的半导体制造工艺中，可以仅在氮化硅膜上选择性地形成树脂膜。众所周知，树脂膜可以形成在具有不同性质的金属膜或氮化硅膜上，但是没有一种材料可以仅吸附到氮化硅膜上并在具有相似性质的氧化硅膜和氮化硅膜之间形成树脂膜。

例如，已经发现在氮化硅膜上形成的纤维素薄膜起到保护膜的作用，该保护膜保护氮化硅膜免遭缓冲氢氟酸(BHF)或氢氟酸(HF)的蚀刻。开发示例：BHF蚀刻）。由于不影响氧化硅膜，因此不会影响蚀刻工艺的生产率。

吸附过程将立即完成。只需用在水溶液或酒精溶液中制备的纳米棒虫处理基材即可。加工方法包括点胶、浸渍、喷墨和旋涂。由于不需要干燥和热处理，因此如果是湿蚀刻工艺，则可以“按原样”进入下一个工艺。本页介绍Nano Attractive Mushi™的选择性吸附效果及具体使用实例。

可以根据每种材料的表面自由能来估计材料之间的吸附自由能（吸附的难易度）。比较了添加到 Nano Attic Mushi™ 中的纤维素衍生物 (DC01) 和市售树脂之间的氧化硅和氮化硅薄膜的吸附自由能（见下图）。下图显示，氧化硅和氮化硅薄膜的吸附自由能为负值，而树脂本身的不同寻常之处在于它很容易吸附氧化硅和氮化硅薄膜。仅仅因为它是纤维素衍生物并不意味着它被吸附。另一方面，对于满冠体育原创的纤维素衍生物（DC01），可以看出氮化硅膜的吸附自由能较大且为负，而氧化硅膜的吸附自由能适中。这种差异就是氮化物膜发生特异性吸附的原因。

这个差异从何而来？ダイセルは、合成化学・计算化学を駆使した解明を进めています。

对氮化硅膜的吸附力极强，仅靠一点点的温柔是无法去除纤维素薄膜的。即使使用溶解氮化硅膜的蚀刻溶液(BHF110)溶解氮化物膜的表面，纤维素薄膜也保留在氮化物膜的表面上。我们能够使用 X 射线光电子能谱 (XPS) 证实这种行为。如下图所示，即使在BHF110被蚀刻后，与纤维素衍生物(DC01)对应的键峰仍然保留。另一方面，在氧化硅膜的情况下，对应于纤维素衍生物的峰完全消失，表明没有留下纤维素薄膜。

另外，在半导体制造过程中，基本原则是“不弄脏鸟儿的踪迹”。吸附在氮化硅膜上的纤维素薄膜可以使用半导体制造工艺中常用的SC1（超纯水：氨水：过氧化氢溶液）或SC2（超纯水：盐酸：过氧化氢溶液）来剥离。观察SC1处理后的基材的X射线光电子能谱图谱（见下图），纤维素衍生物（DC01）对应的键峰已经消失，说明纤维素薄膜已经剥离。

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